Высокотемпературное уплотнительное кольцо FFKM для полупроводников — это высокоэффективное уплотнительное решение, специально разработанное для полупроводниковой промышленности.
Уплотнительные кольца FFKM обладают высокой чистотой и чрезвычайно устойчивы к плазме, нагреву и агрессивным химическим веществам, что может продлить срок службы уплотнения, уменьшить загрязнение, увеличить выход пластин и снизить производственные затраты.
О высокотемпературном уплотнительном кольце FFKM для полупроводников
Высокотемпературное уплотнительное кольцо FFKM для полупроводников — это высокоэффективное уплотнительное решение, специально разработанное для полупроводниковой промышленности. Уплотнительные кольца FFKM обладают высокой чистотой и чрезвычайно устойчивы к плазме, нагреву и агрессивным химическим веществам, что может продлить срок службы уплотнения, уменьшить загрязнение, увеличить выход пластин и снизить производственные затраты.
Решения по герметизации полупроводникового оборудования (мокрый процесс)
Мокрый процесс
Мокрый процесс получения полупроводников включает в себя широкий спектр химических сред и сложные сценарии применения, а также требует тщательного учета затрат.
Hao-o Sealing предлагает ряд продуктов для статических, динамических и композитных уплотнений, которые обладают широкой химической стойкостью.
Наши решения применяются в различных процессах, таких как мокрое травление, ХМП (химико-механическая полировка), а также нанесение и проявка фоторезиста.
| ФФКМ | ||||
| Категория процесса | Процесс | Температура | Условия эксплуатации | Материалы |
| Влажные процессы | Подготовка вафель | 25~125°С | СК1, СК2, СЗМ, ВЧ, УПДИ | PF75WX00 PF75WX20 ПФ75КХ20 |
| КМП | 25~100°С | КОН, NH3, УПДИ | ||
| Фотолитография | 25~125°С | ТМАГ, NaOH, H2SO4+Окислитель,Органические кислоты,NMP,Амины | ||
| зачистки | 25~125°С | НМП, МЭА, HDMS, ДМСО | ||
| Очистка/травление | 25~180°С | HCI,HNO3,H3PO4,HF,UPDI,SC1,SC2,O3 | ||
| Меднение | 25~100°С | CuSO4, H2SO4, H2O2 | ||
Основные характеристики высокотемпературного уплотнительного кольца FFKM для полупроводников
1. Широкий температурный диапазон: уплотнительные кольца FFKM могут работать при экстремальных температурах, обычно в диапазоне от -51°F до 620°F (от -46°C до 327°C), при этом некоторые составы способны выдерживать температуры до 300°C. Это делает их пригодными для применений, связанных со значительными температурными колебаниями.
2. Химическая совместимость: уплотнительные кольца FFKM обладают превосходной устойчивостью практически ко всем химическим веществам и способны выдерживать более 1800 различных химикатов. Это делает их отличными характеристиками в процессах производства полупроводников, особенно в процессах высококоррозионной химической обработки и травления.
3. Низкое выделение газов и чистота. Материалы FFKM известны своими низкими свойствами выделения газов, что имеет решающее значение в производстве полупроводников, поскольку любая крошечная примесь может испортить партию чипов. Они также поддерживают высокий уровень чистоты, сводя к минимуму риск попадания примесей в чувствительные процессы.
4. Стабильность размеров: уплотнительные кольца FFKM сохраняют свою форму и размер в экстремальных условиях, обеспечивая долгосрочную и надежную герметизацию.
5. Механические свойства. Эти уплотнительные кольца обладают превосходной механической прочностью и устойчивостью, что позволяет им эффективно работать как в статических, так и в динамических условиях. Они могут работать в условиях вакуума и обеспечивают низкое трение, что отлично подходит для движущихся частей.
Решения по герметизации полупроводникового оборудования (термический процесс)
Термический процесс
Продукты Hao-o Sealing отличаются превосходной термостойкостью, эффективностью дегазации в высокотемпературных процессах, таких как LPCVD, окисление, диффузия и RTP.
Наша продукция отвечает требованиям клиентов к высокоэффективным резиновым материалам в экстремальных температурных условиях.
| ФФКМ | ||||
| Категория процесса | Процесс | Температура | Условия эксплуатации | Материалы |
| Термические процессы | САКВД | 25~300°К | ТЭП, ТЕБО, ТЭОС, NF3, NH3, O3, O2, N2 | PF75WX40 PH75WX00 PH75TX00 |
| Металл CVD&ALD LPCVD | 25~300°К | Органические предшественники, WF6,SiH6,TMA,DMAH,TiCl4,SiH4,HF,Cl2,SiH2Cl3,ClF3,NF3,H2O Пар,O2,O3 | ||
| Лампаннеадер RTP | 150~300°К | ИК-излучение, O2, пар | ||
| Окислениедиффузия | 150~300°К | N2,O2,H2O,HCI,CI2,B2H6,PH3,BBr3,POCI3 | ||
| УФ-отверждение | 150~300°К | Н2, О2, О3, Ар | ||
| Термальный-АЛД | 150~300°К | ТЭОС, SiH4, NH3, SiF4, CF4, NF3 | ||
Преимущества использования уплотнительных колец FFKM
1. Повышенная надежность. Долговечность уплотнительных колец FFKM приводит к увеличению срока службы, что снижает потребность в техническом обслуживании и время простоя оборудования. Эта надежность может привести к долгосрочной экономии затрат.
2. Улучшенное качество продукции: сводя к минимуму технологическое загрязнение, эти уплотнительные кольца помогают повысить выход и качество продукции, что имеет решающее значение в производстве полупроводников, где точность имеет решающее значение.
3. Экономическая эффективность. Хотя FFKM может иметь более высокую первоначальную стоимость по сравнению с другими эластомерами, его длительный срок службы и низкие требования к техническому обслуживанию часто могут снизить общие эксплуатационные расходы.
Применение в производстве полупроводников
Уплотнительные кольца FFKM используются в различных критических процессах полупроводниковой промышленности, в том числе:
1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
2. Травление (мокрое и сухое).
3. Химико-механическая полировка (ХМП).
4. Сопротивляйтесь раздеванию.
5. Плазменное и газовое осаждение.
Эти применения подчеркивают универсальность уплотнительных колец FFKM в средах, требующих высокой производительности и надежности.
