Высокотемпературное уплотнительное кольцо FFKM для полупроводниковой промышленности — это высокоэффективное решение для герметизации, специально разработанное для полупроводниковой отрасли.
Уплотнительные кольца FFKM обладают высокой чистотой и исключительной устойчивостью к плазме, высоким температурам и агрессивным химическим веществам, что позволяет продлить срок службы уплотнения, снизить уровень загрязнения, увеличить выход годных пластин и снизить производственные затраты.
О высокотемпературном уплотнительном кольце FFKM для полупроводниковых изделий
Высокотемпературные уплотнительные кольца FFKM для полупроводниковой промышленности — это высокоэффективное решение для герметизации, специально разработанное для полупроводниковой отрасли. Уплотнительные кольца FFKM обладают высокой чистотой и исключительной устойчивостью к плазме, высоким температурам и агрессивным химическим веществам, что позволяет продлить срок службы уплотнения, снизить уровень загрязнения, увеличить выход годных пластин и снизить производственные затраты.
Решения для герметизации полупроводникового оборудования (влажный процесс)
Влажный процесс
Технология производства полупроводниковых материалов с использованием химических сред включает в себя широкий спектр химических реагентов и сложные сценарии применения, а также требует тщательного учета затрат.
Компания Hao-o Sealing предлагает широкий ассортимент продукции для статической, динамической и композитной герметизации, обладающей высокой химической стойкостью.
Наши решения применяются в различных процессах, таких как влажное травление, химико-механическая полировка (CMP), а также нанесение и проявление фоторезистов.
| ФФКМ | ||||
| Категория процесса | Процесс | Температура | Условия эксплуатации | Материалы |
| Влажные процессы | Подготовка вафель | 25~125°C | SC1, SC2, SPM, HF, UPDI | PF75WX00 PF75WX20 PF75KX20 |
| CMP | 25~100°C | KOH, NH3, UPDI | ||
| Фотолитография | 25~125°C | ТМАГ, гидроксид натрия, серная кислота + окислитель, органические кислоты, НПВС, амины | ||
| Стриптиз | 25~125°C | НМП, МЭА, ХДМС, ДМСО | ||
| Очистка/Травление | 25~180°C | HCI,HNO3,H3PO4,HF,UPDI,SC1,SC2,O3 | ||
| Медное покрытие | 25~100°C | CuSO4, H2SO4, H2O2 | ||
Основные характеристики высокотемпературного уплотнительного кольца FFKM для полупроводниковых изделий
1. Широкий температурный диапазон: Уплотнительные кольца FFKM могут работать в экстремальных температурах, обычно от -51°F до 620°F (-46°C до 327°C), при этом некоторые составы способны выдерживать температуру до 300°C. Это делает их подходящими для применений, связанных со значительными колебаниями температуры.
2. Химическая совместимость: Уплотнительные кольца FFKM обладают превосходной устойчивостью практически ко всем химическим веществам, выдерживая воздействие более 1800 различных химикатов. Это делает их отличным выбором для процессов производства полупроводников, особенно в условиях высококоррозионной химической обработки и травления.
3. Низкое газовыделение и чистота: Материалы FFKM известны своими низкими газовыделительными свойствами, что имеет решающее значение в полупроводниковом производстве, поскольку любая мельчайшая примесь может испортить партию микросхем. Они также поддерживают высокий уровень чистоты, минимизируя риск попадания примесей в чувствительные технологические процессы.
4. Стабильность размеров: уплотнительные кольца FFKM сохраняют свою форму и размер в экстремальных условиях, обеспечивая долговременную и надежную герметизацию.
5. Механические свойства: Эти уплотнительные кольца обладают превосходной механической прочностью и упругостью, что позволяет им эффективно работать как в статических, так и в динамических условиях. Они выдерживают вакуум и обеспечивают низкое трение, что отлично подходит для движущихся частей.
Решения для герметизации полупроводникового оборудования (термические процессы)
Термический процесс
Продукция Hao-o Sealing отличается выдающейся термостойкостью и способностью к газовыделению в высокотемпературных процессах, таких как LPCVD, окисление, диффузия и RTP.
Наша продукция отвечает требованиям заказчиков к высокоэффективным резиновым материалам, предназначенным для работы в экстремальных температурных условиях.
| ФФКМ | ||||
| Категория процесса | Процесс | Температура | Условия эксплуатации | Материалы |
| Термические процессы | САКВД | 25–300 °C | ТЭП, ТЕБО, ТЭОС, NF3, NH3, O3, O2, N2 | PF75WX40 PH75WX00 PH75TX00 |
| Металл CVD&ALD LPCVD | 25–300 °C | Органические предшественники, WF6,SiH6,TMA,DMAH,TiCl4,SiH4,HF,Cl2,SiH2Cl3,ClF3,NF3,H2O Пар,O2,O3 | ||
| Лампаннеадер RTP | 150–300 °C | ИК-излучение, O2, пар | ||
| Окислительно-диффузионный процесс | 150–300 °C | N2,O2,H2O,HCl,CI2,B2H6,PH3,BBr3,POCI3 | ||
| УФ-отверждение | 150–300 °C | N2,O2,O3,Ar | ||
| Термо-ALD | 150–300 °C | TEOS,SiH4,NH3,SiF4,CF4,NF3 | ||
Преимущества использования уплотнительных колец FFKM
1. Повышенная надежность: Долговечность уплотнительных колец FFKM обеспечивает более длительный срок службы, что снижает потребность в техническом обслуживании и время простоя оборудования. Эта надежность может привести к долгосрочной экономии средств.
2. Улучшение качества продукции: минимизируя технологическое загрязнение, эти уплотнительные кольца помогают повысить выход годной продукции и ее качество, что крайне важно в полупроводниковом производстве, где точность имеет решающее значение.
3. Экономическая эффективность: Хотя FFKM может иметь более высокую первоначальную стоимость по сравнению с другими эластомерами, его длительный срок службы и низкие требования к техническому обслуживанию часто позволяют снизить общие эксплуатационные расходы.
Применение в производстве полупроводников
Уплотнительные кольца FFKM используются в различных важных процессах полупроводниковой промышленности, в том числе:
1. Химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
2. Травление (влажное и сухое).
3. Химико-механическая полировка (ХМП).
4. Предотвращает отслаивание.
5. Плазменное и газовое осаждение.
Эти примеры применения демонстрируют универсальность уплотнительных колец FFKM в условиях, требующих высокой производительности и надежности.
